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本实用新型提供一种水冷热屏用清洁装置及单晶炉，包括充气环路，所述充气环路用于设置在水冷热屏上方，且大小与所述水冷热屏相适应，所述充气环路下方设有气孔，所述气孔与所述水冷热屏相对设置；充气法兰，所述充气法兰与所述充气环路连通，所述充气法兰设有进口，所述进口用于充气；空心柱体，所述空心柱体的一端与所述充气法兰连接，另一端与充气环路连接，用于导入气体并定位所述充气环路的位置。根据本实用新型实施例的水冷热屏用清洁装置，能过在单晶炉中清洁水冷热屏，减少水冷热屏表面附着物，提升水冷热屏对单晶的冷却效果，保证
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213142280 U
(45)授权公告日 2021.05.07
(21)申请号 202021503819.7
(22)申请日 2020.07.27
(73)专利权人 邢台晶龙电子材料有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
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