基板的支撑装置及PECVD设备.pdfVIP

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2023-03-03 发布于四川
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基板的支撑装置及PECVD设备.pdf

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本实用新型提供一种基板的支撑装置及PECVD设备，基板的支撑装置，包括基座和与基座上配合设置的可升降的支撑机构，基座设有多个通孔，通孔的内侧壁嵌套有第一磁性件；支撑机构包括多个支撑件，支撑件上具有与第一磁性件的磁性相同的第二磁性件，支撑件与通孔一一对应设置，以使支撑件的顶端可经通孔伸出至基座表面，并保持支撑件的外侧壁与通孔的内侧壁之间具有间隙。本实用新型提供的基板的支撑装置及PECVD设备，能减少支撑件与通孔摩擦产生的颗粒，提高产品的良品率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213113505 U (45)授权公告日 2021.05.04 (21)申请号 202022094915.7 (22)申请日 2020.09.22 (73)专利权人成都中电熊猫显示科技有限公司