化学机械抛光垫标准.pdfVIP

化学机械抛光垫 1 范围 本文件规定了化学机械抛光垫的术语和定义、分类和命名、要求、试验方法、检验规则、标志、包 装、运输和贮存。 本文件适用于以溶剂型聚氨酯、N-N-二甲基甲酰胺为原料，经与非溶剂相转化方法制得硬、软质抛 光层，并以层叠结构加以复合制得的化学机械抛光垫。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适 用于本文件。 GB/T 191 包装储运图示标志 GB/T 2411—2008 塑料和硬橡胶 使用硬度计测定压痕硬度（邵氏硬度） GB/T 6672—2001 塑料薄膜和薄片厚度测定 机械测量法 GB/T 8949—2008 聚氨酯干法人造革 GB/T 24218.1—2009 纺织品 非织造布试验方法 第 1 部分：单位面积质量的测定 GB/T 50073—2013 洁净厂房设计规范 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 抛光垫 polishing pad 具有抛光研磨功能的垫片。 4 分类和