一种高排气效率高密封性能的真空腔体.pdfVIP

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2023-03-03 发布于四川
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一种高排气效率高密封性能的真空腔体.pdf

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本实用新型公开了一种高排气效率高密封性能的真空腔体，包括真空腔体、真空泵法兰接头、排气通孔、连接管、固定座及密封垫圈，所述排气通孔与连接管通过焊接的方式连接在一起，所述连接管为锥形形状，所述连接管与排气通孔一端的直径是另一端直径的0.5倍。本实用新型提供的在真空罩腔体将排气通孔的连接管设计成锥形形状，其与真空泵连接一端直径是与排气通孔连接一端的直径的两倍，提高了真空泵的排气效率，连接管与排气通孔的焊接连接处周围涂有密封橡胶，避免因焊接气孔造成密封效果差的问题，法兰接头上设有密封垫圈，增强了与真空

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213145321 U (45)授权公告日 2021.05.07 (21)申请号 202021443367.8 (22)申请日 2020.07.21 (73)专利权人苏州珐砌琢科技有限公司