原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型涉及一种无仓门式微波等离子化学气相沉积系统，包括上下分离式腔体与升降托架，上下分离式腔体包括上腔体以及位于上腔体下方的下腔体，上腔体与下腔体采用胶圈密封对接。升降托架在上腔体需要打开时，用于将上腔体抬升从下腔体上分离开，升降托架在上腔体需要闭合时，将上腔体盖合在下腔体上。相比于现有的微波等离子化学气相沉积系统，该系统取消了开合取样的仓门，改为抬升上腔体获得开放空间形式。使得放置样品的升降基台从非常狭窄、局促的空间变为开放式空间，大大方便了样品的取放。活动的空间大大增强，不在局限于仓门狭
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213113506 U
(45)授权公告日 2021.05.04
(21)申请号 202021662200.0
(22)申请日 2020.08.11
(73)专利权人 上海昇泓科技有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
用户编号：8063122115000010
文档评论（0）