一种方硅芯铸锭炉热场结构.pdfVIP

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2023-03-03 发布于四川
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一种方硅芯铸锭炉热场结构.pdf

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本实用新型公开了一种方硅芯铸锭炉热场结构，主要以解决热场温度分布不均匀，生长出的晶体易开裂的问题。包括：炉体，所述炉体分为上炉体与下炉体；隔热层，所述隔热层设置在所述炉体中；立柱，所述立柱固定在所述下炉体上；热交换台，所述热交换台固定在所述立柱上；隔热板，所述隔热板设置在所述隔热层的底部，所述立柱穿过所述隔热板，所述隔热板能够在所述立柱上升降。本实用新型获得了热场稳定、利于晶体生长、能耗降低的优点。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213113600 U (45)授权公告日 2021.05.04 (21)申请号 202022358099.6 (22)申请日 2020.10.21 (73)专利权人苏州昀丰半导体装备有限公司