半导体加工用冷却设备.pdfVIP

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2023-03-03 发布于四川
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半导体加工用冷却设备.pdf

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本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为半导体加工用冷却设备，其能根据输送装置和半导体材料的位置需求对喷头的高度和位置进行调节，提高适应能力，同时减轻冷风机使用时产生的噪音，改善周围环境，提高使用可靠性；包括底座、冷风机、输送管、支架、分流管和多组喷头，底座底端四角处均设置有脚轮，冷风机输出端上设置有输出斗，多组喷头均安装在支架输出端上；还包括减震座、遮挡框和两组加固件，支架包括两组支块、两组第一螺纹管、两组第一螺纹杆、第一固定板、第二固定板、支板、安装板和位移件，两组第一螺纹管底端分别插入至两

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213147106 U (45)授权公告日 2021.05.07 (21)申请号 202021571185.9 (22)申请日 2020.07.31 (73)专利权人致胜精工机电（天津）有限公司