一种晶棒PN型自动检测机构.pdfVIP

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2023-03-04 发布于四川
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一种晶棒PN型自动检测机构.pdf

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本实用新型提供一种晶棒PN型自动检测机构，包括支撑单元和测量单元，其中，所述支撑单元设有用于支撑晶棒的支撑座，并使晶棒的其中一个端面朝所述测量单元一侧设置；所述测量单元配置有探笔，所述探笔可沿第一方向和/或第二方向朝所述晶棒一侧移动。本实用新型一种晶棒PN型自动检测机构，可自动传送晶棒并使其稳定定位到被测位置；还可自动对晶棒进行对中调节，以使检测仪器的探头能精准对准晶棒端面，以获取稳定且准确的测试结果；整个机构自动化程度高，相互配合精准，运行稳定，检测效率高，最大限度地去除人工干扰。

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218546806 U (45)授权公告日 2023.02.28 (21)申请号 202222487479.9 (22)申请日 2022.09.20 (73)专利权人天津环博科技有限责任公司地址