原创力文档- 3
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- 2023-03-04 发布于四川
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本实用新型公开了一种用于PECVD腔室的绝缘螺栓，包括螺栓主体和绝缘螺帽，所述螺栓主体的头部端面中心钻设带有内螺纹的螺孔，所述绝缘螺帽一体成型带有外螺纹的锁紧螺杆，所述锁紧螺杆的外螺纹与螺孔的内螺纹相适配，所述绝缘螺帽通过锁紧螺杆与螺孔嵌入在螺栓主体上面。本实用新型不仅具有普通螺栓坚固，可支撑石英零件等特点，且在螺栓主体上设有绝缘螺帽，避免了PECVD启辉过程，裸露的螺栓成为局部的电极辉光点，分散了等离子镀膜区域，绝缘螺帽保护螺栓主体避免其在高温下熔融变形，又不会在真空腔室内参与气体反应，污染腔
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213176386 U
(45)授权公告日 2021.05.11
(21)申请号 202021929756.1
(22)申请日 2020.09.07
(73)专利权人 福建钧石能源有限公司
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