一种双工位自动晶圆盒开盖机.pdfVIP

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2023-03-04 发布于四川
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一种双工位自动晶圆盒开盖机.pdf

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本实用新型公开了一种双工位自动晶圆盒开盖机，其技术方案是：包括两条输送带，还包括外壳组件，所述外壳组件包括框架，所述框架的侧壁和顶部均固定连接有透明玻璃，所述框架的下端固定连接有控制柜，所述框架的内壁固定连接有两根滑轨，该种双工位自动晶圆盒开盖机有益效果是：通过设置外壳组件，可以利用框架配合透明玻璃，从而对晶圆进行保护，可以避免在打开晶圆盒时及打开晶圆盒后，空气中的灰尘污染晶圆，另一方面，通过设置设置开盖机构，利用多个电动推杆的配合，以机械的取代人工打开晶圆盒，自动化程度较高，可以配合流水线高速

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213150747 U (45)授权公告日 2021.05.07 (21)申请号 202022644782.6 (22)申请日 2020.11.16 (73)专利权人苏州英叶达智能设备科技有限公