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晶圆磨削主轴组件.pdfVIP

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  • 2023-03-04 发布于四川
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晶圆磨削主轴组件.pdf

    本实用新型公开了一种晶圆磨削主轴组件，包括主轴、主轴座、进给机构和左右倾斜机构；所述主轴可旋转地同轴配置于主轴座中；所述主轴座包括管状的主体部及其左右两侧平行向外延伸的翼板；所述进给机构包括沿竖直方向设置的滑轨、沿滑轨竖直移动的滑块和调节板，所述调节板贴合连接所述滑块的外侧面和所述翼板的侧面，其中，所述滑块的外侧面平行于所述翼板的侧面；所述左右倾斜机构包括上部调节螺栓、下部调节螺栓和转动轴；所述转动轴垂直地贯穿翼板正面插入滑块，使得主轴座可连同主轴整体绕转动轴转动以调节倾斜角度，并由上部调节螺栓

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213164839 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202021540320.3 (22)申请日 2020.07.30 (73)专利权人 华海清科（北京）科技有限公司

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