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- 2023-03-04 发布于四川
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本实用新型涉及真空镀膜技术领域，且公开了一种真空镀膜靶材安装机构，包括基板，所述基板上端部中心位置上固定安装有固定座，所述固定座两侧固定卡接有固定机构，所述固定机构中包含有两个单一的固定架，两个所述固定架上端部均为U字型，两个所述固定架中均开设有卡接槽。该种真空镀膜靶材安装机构，设置的该种固定机构，在进行靶材的安装时，可以牢牢将靶材固定住，而且在进行操作时候，容易上手，同时固定机构中设置有硅胶软垫，可以对固定架中的靶材起到一定的保护作用，进行装置的拆卸时，可以将基板进行拆卸，基板与机器主要靠螺栓
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213164984 U
(45)授权公告日 2021.05.11
(21)申请号 202021681024.5
(22)申请日 2020.08.12
(73)专利权人 深圳市长兴荣五金制品有限公司
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