原创力文档- 2
- 0
- 约6.93千字
- 约 7页
- 2023-03-04 发布于四川
- 举报
本实用新型公开了一种晶圆盒充气装置，包括操作箱，所述操作箱内部中端固定连接有支撑板，所述支撑板顶端固定连接有第二固定座，所述第二固定座顶端固定连接有净气室，所述净气室一端相通连接有干燥管，所述干燥管靠近净气室一端安装有电热丝，所述干燥管中部安装有第二气泵。本实用新型中，当需要充气时，关闭第二阀门，打开第一气泵，一边通过空气流通管涌出的空气覆盖晶圆盒内的空气，一边通过收气管将晶圆盒内原本的空气排出，循环一段时间后，待晶圆盒内的气体完全的换过一遍后，关闭第一阀门，打开第二阀门，通过充气口充氮气，操作
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213184217 U
(45)授权公告日 2021.05.11
(21)申请号 202021818441.X
(22)申请日 2020.08.27
(73)专利权人 江苏无恙半导体科技有限公司
文档评论（0）