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可倾斜的晶圆磨削主轴组件.pdfVIP

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  • 2023-03-04 发布于四川
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可倾斜的晶圆磨削主轴组件.pdf

    本实用新型公开了一种可倾斜的晶圆磨削主轴组件，包括主轴、主轴座、进给机构和前后倾斜机构；所述主轴可旋转地同轴配置于主轴座中；所述主轴座包括管状的主体部及其左右两侧平行向外延伸的翼板；所述进给机构包括沿竖直方向设置的滑轨和沿滑轨竖直移动的滑块；所述翼板经由螺栓固定至所述滑块；所述前后倾斜机构包括上部垫板和下部垫板，所述上部垫板和下部垫板分别向下地和向上地插入滑块与翼板之间以通过调整所述上部垫板和/或下部垫板插入的距离调节主轴座的前后倾斜的角度，其中，所述上部垫板和下部垫板中的至少一个为楔形板。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213164517 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202021541511.1 (22)申请日 2020.07.30 (73)专利权人 华海清科（北京）科技有限公司

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