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一种电磁式MEMS扭转微镜.pdfVIP

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  • 2023-03-04 发布于四川
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一种电磁式MEMS扭转微镜.pdf

    本实用新型涉及一种电磁式MEMS扭转微镜，包括微镜反射镜面、弹性梁、驱动线圈、框架和基座，其中：所述微镜反射镜面与所述框架通过所述弹性梁连接；所述弹性梁与所述微镜反射镜面连接，用以固定连接所述微镜反射镜面与框架；所述驱动线圈设置在所述基座上，用以对所述微镜反射镜面提供驱动力；所述框架用以固定所述微镜反射镜面；所述基座设置在所述微镜反射镜面所在的平面上。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213182194 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202021855942.5 (22)申请日 2020.08.31 (73)专利权人 东莞理工学院 地址

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