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- 2023-03-04 发布于四川
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本实用新型公开了一种用于承载掩膜板的载板，包括板体，所述板体正面凹设有若干排容置腔组，每一排容置腔组均包括多个间隔设置的用于承载掩膜板的容置腔，每一所述容置腔均包括一凹槽及设于所述凹槽内并沿所述凹槽四周设置的棱台，所述棱台上表面不高出所述板体正面，所述棱台上凸设有用于与所述掩膜板上的连接孔配合的连接柱。本实用新型的用于承载掩膜板的载板可一次承载多个掩膜板，棱台上的连接柱与掩膜板的连接孔连接，使得掩膜板100可快速且精准的被放置于容置腔内，提高了沉积速度，利于工业批量化生产，提高效率，节省成本。且
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213172536 U
(45)授权公告日 2021.05.11
(21)申请号 202021937649.3 (51)Int.Cl.
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