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本实用新型提供一种用于半导体设备的托盘调平机构及半导体工艺设备，托盘调平机构包括固定支架、两个调节本体、调平球、两个定位调节部件和用于支撑托盘支撑体，移动两个调节本体可带动调平球转动，调节支撑体的垂直度；定位调节部件包括转接组件和螺旋调节螺杆；螺旋调节螺杆包括固定套管、锁紧螺母、计量单元、旋钮和设置于固定套管内的测微螺杆；转接组件与固定支架可转动的连接，螺旋调节螺杆可围绕转接组件的转动轴水平转动；旋转旋钮可调整测微螺杆伸出或缩回固定套管；计量单元用于显示测微螺杆相对固定套管的移动量。本实用新型提
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213150731 U
(45)授权公告日 2021.05.07
(21)申请号 202022122224.3
(22)申请日 2020.09.24
(73)专利权人 北京北方华创微电子装备有限公
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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