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一种三维动态聚焦振镜系统.pdfVIP

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  • 2023-03-04 发布于四川
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一种三维动态聚焦振镜系统.pdf

    一种三维动态聚焦振镜系统，包括X、Y轴电机反射镜、调焦透镜、固定透镜、聚焦场镜、Z轴调焦机构、光路底座和光路上盖，光路底座设有由所述光路上盖密封罩盖的安装腔，以及与安装腔导通的入光孔和出光孔，X轴电机反射镜接收依次经入光孔、调焦透镜和固定透镜射入的激光器光束并反射激光器光束形成第一反射光束；Y轴电机反射镜设置在X轴电机反射镜的侧面，Y轴电机反射镜用于接收第一反射光束并反射第一反射光束得到第二反射光束，第二反射光束经聚焦场镜射出；Z轴调焦机构带动调焦透镜沿入光孔的中心与固定透镜的中心所在直线移动，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213163617 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202021742069.9 (22)申请日 2020.08.18 (73)专利权人 深圳市智博泰克科技有限公司

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