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一种薄膜器件.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于北京
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一种薄膜器件.pdf

    本实用新型公开了一种薄膜器件，包括依次层叠的基板、膜层组件、顶层电介质膜层和保护膜层，膜层组件包括沿基板向外依次层叠的电介质膜层、银膜层和牺牲膜层，或膜层组件包括沿基板向外依次层叠的电介质膜层、牺牲膜层和银膜层，膜层组件还包括BiMg膜层和AgZr膜层，BiMg膜层和AgZr膜层层叠在银膜层与牺牲膜层之间或银膜层与电介质膜层之间；或BiMg膜层和AgZr膜层层叠在银膜层与牺牲膜层之间，同时BiMg膜层和/或AgZr膜层层叠在银膜层与电介质膜层之间。本实用新型可以提高膜系在高温热处理的稳定性，又可

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213232020 U (45)授权公告日 2021.05.18 (21)申请号 202020393131.1 (22)申请日 2020.03.25 (73)专利权人 四

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