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- 2023-03-05 发布于北京
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本实用新型公开了一种ppb级超高纯度氩气/氦气的纯化装置，包括进气管路、第一换热器、吸气反应器、第二换热器、脱氢罐和出气管路，所述进气管路与所述第一换热器的冷媒入口相连，所述第一换热器的冷媒出口与所述吸气反应器相连，所述吸气反应器内设有吸气剂，所述吸气反应器处设有用于加热吸气剂的加热元件，所述吸气反应器的出口与所述第一换热器的热媒入口相连，所述第一换热器的热媒出口与所述第二换热器的热媒入口相连，所述第二换热器的热媒出口与所述脱氢罐相连，所述脱氢罐与所述出气管路相连。本实用新型中加高效吸气剂脱氢罐
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213193100 U
(45)授权公告日 2021.05.14
(21)申请号 202021705279.0
(22)申请日 2020.08.14
(73)专利权人 大连华邦化学有限公司
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