一种可程控调节的单晶硅切割平台.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于北京
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一种可程控调节的单晶硅切割平台,包括基台、支架、线性电机、限位销、限位槽、操作平台、万向轮、固定螺栓、粘接底板、定位孔,基台为矩形结构,基台上设有2个支架,2个支架呈垂直位置关系设置,支架上分别安装有线性电机,线性电机与PLC控制系统电连接,线性电机的输出轴端部安装有限位销;操作平台侧面设有限位槽,限位销滑动安装在限位槽内;操作平台底面安装有万向轮,操作平台上设有粘接底板,粘接底板及操作平台相配合的位置设有定位孔,通过将固定螺栓穿过定位孔实现粘接底板与操作平台的固定连接。本实用新型操作精准快速,

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213198326 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202021354612.8 (22)申请日 2020.07.11 (73)专利权人 天津众晶半导体材料有限公司

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