一种CVD炉发热体的取出装置.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于北京
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本实用新型涉及一种CVD炉发热体的取出装置,该取出装置包括支架主体,所述的支架主体是由三根支杆组成的相互呈120°角的星型三角形结构,三根支杆上均设置有可沿支杆自由滑动的吊杆,所述的吊杆的端部设置有挂钩。本实用新型的支架主体为相互呈120°角的星型三角形结构,可以提高发热体取出时的稳定性。支架主体上三根可滑动的吊杆,可以根据发热体直径的大小进行调节,提高了工装的适用性。支架主体采用三人合作抬动的方式,较前期两人抬动的取出方式,操作空间更大、更省力、更安全;通过使用此装置,提高了取出发热体操作的安

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213203190 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202021758318.3 (22)申请日 2020.08.21 (73)专利权人 山东国晶新材料有限公司

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