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一种半导体硅片架外观平移检测设备.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于北京
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一种半导体硅片架外观平移检测设备.pdf

    本实用新型公开了一种半导体硅片架外观平移检测设备，包括设备底座、导轨、滑台、把手、半导体硅片架载放槽、支架、显微镜，通过导轨安装在设备底座上，滑台安装在导轨上，把手位于滑台侧边，半导体硅片架载放槽位于滑台中部，支架安装在设备底座上，显微镜安装在支架上，通过移动滑台可以快速的对半导体硅片架进行检测，避免手动拿取半导体硅片架放到显微镜下进行外观检测，检测效率得到了显著的提升。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213212116 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202022723597.6 (22)申请日 2020.11.23 (73)专利权人 苏州顺意达精密机械有限公司

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