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一种超薄硅片加工工作台.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于北京
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一种超薄硅片加工工作台.pdf

    本实用新型公开了一种超薄硅片加工工作台，包括支撑板、抽气泵、固定板和驱动电机，所述支撑板的底部四角对称焊接固定有四组支撑腿，所述支撑板的底部焊接固定有安装架，所述安装架的底部通过螺栓固定有抽气泵，所述安装架内通过转动座转动连接有固定管，所述固定管的上半部延伸至支撑板的上方，所述固定管的表面焊接固定有固定板，所述支撑板表面的右半部通过螺栓固定有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的驱动杆上通过螺栓固定有安装板，所述安装板的表面通过螺栓固定有驱动电机，所述支撑板的背部通过螺栓固定有连接板。该超薄硅片加工工作台

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213196857 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202021986496.1 (22)申请日 2020.09.11 (73)专利权人 苏

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