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一种用于硅片制造的研磨装置.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于四川
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一种用于硅片制造的研磨装置.pdf

    本实用新型涉及硅片制造技术领域，具体为一种用于硅片制造的研磨装置，包括主体，所述主体的上端设置有支撑杆，且支撑杆的左右两端设置有齿牙，所述主体的左右两端开设有孔洞，且孔洞内固定安装有固定轴，所述固定轴的上端开设有孔洞，且孔洞内插设有固定杆，所述固定轴的右端设置有第一齿轮，且第一齿轮共设置有两组，两组所述第一齿轮与支撑杆左右两端的齿牙相适配。本实用新型通过第一电机和第二齿轮的设置，使得第一转杆带动上磨块进行顺向进行旋转运动，同时通过第四齿轮和第五齿轮的设置，使得第二转杆带动下磨块进行逆向运动，增加

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213225681 U (45)授权公告日 2021.05.18 (21)申请号 202021354980.2 (22)申请日 2020.07.11 (73)专利权人 上海磐盟电子材料有限公司

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