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管路侦测装置.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于北京
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管路侦测装置.pdf

    本实用新型提供一种管路侦测装置，涉及半导体设备技术领域，该管路侦测装置包括发射半环、接收半环和与接收半环电连接的分析控制器，发射半环和接收半环围设形成一环状结构，发射半环上设置有多个声波发射器，接收半环上设置有多个声波接收器，多个声波发射器与多个声波接收器一一对应设置。通过发射半环和接收半环围设形成圆环结构，并环设在管道外，在使用时可沿管道移动，利用多个声波发射器向管道内发射声波，再利用多个声波接收器接收声波，通过分析控制器对接收到的声波进行分析，当管道中有异物时与管道中没有异物时的声波信号不同

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213207302 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202022131610.9 (22)申请日 2020.09.25 (73)专利权人 泉芯集成电路制造(济南)有限公

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