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激光器芯片腔面目检装置.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于北京
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激光器芯片腔面目检装置.pdf

    本实用新型实施例涉及芯片生产设备技术领域，提供一种激光器芯片腔面目检装置，包括基座、镜筒、移动测试台和夹具；移动测试台包括第一移动平台，第一移动平台与基座可滑动连接，夹具安装于第一移动平台；夹具沿第一移动平台的滑动方向设有倾斜面，具有阶梯式芯片安装面的热沉安装于倾斜面；镜筒与显示装置电连接，镜筒的镜口朝向热沉上的芯片的腔面。本实用新型实施例提供的激光器芯片腔面目检装置结构简单，可对具有阶梯式芯片安装面的热沉上的多个芯片的腔面进行快速检测，提高生产效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213209934 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202021743375.4 (22)申请日 2020.08.19 (73)专利权人 武汉锐科光纤激光技术股份有限

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