原创力文档- 4
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- 2023-03-05 发布于北京
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本申请公开一种晶圆裁切固定装置，属于晶圆生产制造加工技术领域，其包括支撑台，支撑台的顶端固定连接有支架，支架远离支撑台的一端固定连接有安装板，安装板的底端固定安装有气缸，气缸的输出端外侧固定连接有卡环，卡环的正表面固定连接有排水管，排水管的底端中部接通有进水管，进水管为伸缩软管，支撑台的后表面开设有放置槽，放置槽的内部固定连接有水箱，水箱的内部固定安装有水泵；本申请通过在放置槽内部放置水箱，在水箱内部安装水泵，水泵通过抽水管将水箱内部的水抽取并排进进水管内部，水经由进水管排进排水管内部，从而排出
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218557602 U
(45)授权公告日 2023.03.03
(21)申请号 202222941679.7
(22)申请日 2022.11.05
(73)专利权人 江苏铨力微电子有限公司
地址 2
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