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一种探针卡.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于北京
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一种探针卡.pdf

    本实用新型提供了一种探针卡，包括具有孔洞的PCB板，孔洞中设有补强环，补强环一侧设有具有孔洞的绝缘垫圈及探针树脂层，另一侧设有观察密闭板并与补强环形成腔体，观察密闭板内设有第一通道及第二通道，第一通道一端连接通气装置，另一端连通腔体；通气装置包括置于腔体内的气体通管以及通气弹性柱，通气弹性柱穿过绝缘垫圈及探针树脂层并连通气罩装置的气孔，腔体与绝缘垫圈、探针树脂层以及气罩装置的内环对腔体的延伸腔组成一个整体型腔。本实用新型在气罩装置形成气帘与被测芯片之间形成气帘动态密闭型腔，减少测试电弧产生，降低

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213210351 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202020892980.1 (22)申请日 2020.05.25 (73)专利权人 深

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