一种可调式单晶炉中轴盖.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于四川
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本实用新型涉及单晶炉设备技术领域,具体为一种可调式单晶炉中轴盖,包括加热器、坩埚、端盖组件和石墨电极,所述端盖组件包括第一端盖,所述第一端盖的内部固定连接有隔热层,所述第一端盖的下表面通过沉头螺栓固定连接有第二端盖,所述第二端盖的下表面固定连接有橡胶垫,所述第一端盖的下表面中心处固定连接有连接轴,所述连接轴的外部固定连接有密封塞,所述连接轴的内部设置有螺纹孔,所述端盖组件的上方活动连接有坩埚,所述端盖组件的下方固定连接有中轴组件。本实用新型通过优化端盖组件,使其能够起到对底部管道的防护作用,通过

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213232568 U (45)授权公告日 2021.05.18 (21)申请号 202021354972.8 (22)申请日 2020.07.11 (73)专利权人 上海磐盟电子材料有限公司

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