原创力文档- 3
- 0
- 约1.12万字
- 约 10页
- 2023-03-05 发布于北京
- 举报
本实用新型提供一种输气管道及制程废气处理系统，涉及半导体制程废气处理领域。本实用新型通过在管道本体的管道内壁上涂覆保护膜层，形成新型的用于输送制程设备所产生的制程废气的输气管道，使制程废气在该输气管道内传输的过程中仅与表面光滑的保护膜层接触，确保废气输送导流平滑，不产生气体凝滞，降低制程废气在管道内的留存率，避免制程废气对管道本体造成影响，延长管道使用寿命。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213206813 U
(45)授权公告日 2021.05.14
(21)申请号 202021708320.X F17D 3/01 (2006.01)
文档评论（0）