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- 2023-03-05 发布于北京
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本实用新型公开了一种集中供源装置,包括源瓶、为源瓶提供源液的源桶以及为源瓶保温的控温腔体,所述源桶上设置有压力控制装置、补充源液的进酸管道和为源瓶输送源液的补液件,所述源瓶上设置有输入载气的进气管和管路输送机构,所述管路输送机构包括输出气体的气体输送机构和泄压管道机构,本实用新型采用集中供源的方式对多个源瓶进行供液,集中供源一次补液,使用时间长久,无需拆卸搬运换源瓶,只是对接进酸口,外部进酸,减少风险,同时降低源瓶中液体量的波动,使气体所携带的源量一致,源瓶中液体压力一致,同时降低了气体对源液温
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213222075 U
(45)授权公告日 2021.05.18
(21)申请号 202020824099.8
(22)申请日 2020.05.18
(73)专利权人 深
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