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一种单晶成品硅棒自动检测系统.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于北京
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一种单晶成品硅棒自动检测系统.pdf

    本实用新型涉及硅棒检测技术领域，提供一种单晶成品硅棒自动检测系统，包括：工控机、输送机构、四轴机械手、V形支撑台、滑动安装立架、传感器系统、第一视觉系统、第二视觉系统；滑动安装立架通过第一移动机构安装在V形支撑台上；滑动安装立架具有菱形通孔，菱形通孔的内角为90°；传感器系统和第一视觉系统安装在滑动安装立架上；第一视觉系统，包括：第一线阵相机和第二线阵相机；第一线阵相机和第二线阵相机分别对应布置在菱形通孔的上边上方；传感器系统安装在滑动安装立架上，传感器系统包括多个接触式传感器，且多个接触式传感

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218566433 U (45)授权公告日 2023.03.03 (21)申请号 202223042195.5 G01B 21/02 (2006.01)

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