一种单晶硅生产设备专用气体回用装置.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于北京
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一种单晶硅生产设备专用气体回用装置.pdf

本实用新型公开了一种单晶硅生产设备专用气体回用装置,包括提纯箱、连接管、纯净气体储存罐、检测器、控制开关和电源线,通过在提纯箱顶部右端设置有辅助加料装置,通过控制开关启动驱动机构,驱动机构对滑动板施加推力,驱动机构带动滑动板在壳体内部下端活动,使滑动板上的落料孔进入壳体内,提纯原料通过落料孔落入提纯箱内,达到辅助加料的效果,通过在滑动板右端设置了驱动机构,通过控制开关启动电机,电机带动短杆摆动,短杆带动连接杆摆动,使推杆在滑槽内侧面进行滑动,推杆对滑动板施加推力,达到驱动滑动板活动的效果,本装置

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213207280 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202021961805.X (22)申请日 2020.09.09 (73)专利权人 内蒙古豪安能源科技有限公司

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