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- 2023-03-05 发布于北京
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本实用新型属于ICP技术领域，公开了一种带有氩气流量监控功能的ICP气流保护装置，包括氩气管，所述氩气管内设置有压缩氩气，所述氩气管上依次设置有减压阀和质量流量控制器，所述质量流量控制器位于减压阀的出气端。本方案通过在氩气管上安装质量流量控制器，从而质量流量控制器实时监测氩气管内的压缩氩气的流量，并将检测的气流数据反馈给ICP主控系统的上位机软件，同时ICP主控系统的上位机软件将设置的气流电压信号发送给气流保护系统，气流保护系统对比反馈数据和设置数据，如果差值超出安全阈值的范围，将直接发送指令关
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213207289 U
(45)授权公告日 2021.05.14
(21)申请号 202021750956.0
(22)申请日 2020.08.20
(73)专利权人 苏州普业仪器有限公司
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