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本实用新型公开了一种半导体晶片探针测试设备,包括底座,所述底座上端安装有升降结构,所述底座上端安装有夹紧检测结构;其中,升降结构包含有:动力室、液压泵、液压杆、辅助滑道、第一滑块、升降台、电动滑道、第二滑块、电动推杆以及探针,本实用新型涉及半导体检测技术领域,本案的有益效果为:解决了现有设备中由于产品的待测试点距离测试设备的高度不一,所以要准备不同长度的探针以满足不同的测试要求,并且放置板的高度固定,不能根据需求进行调整,适应能力较差;而且在测试过程中需要进行固定,人工固定比较麻烦,会带来较大的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213275855 U
(45)授权公告日 2021.05.25
(21)申请号 202021751083.5
(22)申请日 2020.08.20
(73)专利权人 镇江矽佳测试技术有限公司
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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