一种卧式晶圆甩干机的转轴安装结构及晶圆甩干机.pdfVIP

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2023-03-07 发布于四川
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一种卧式晶圆甩干机的转轴安装结构及晶圆甩干机.pdf

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本实用新型公开了一种卧式晶圆甩干机的转轴安装结构及晶圆甩干机，该转轴安装结构包括甩干筒、旋转架和转轴，转轴的顶端穿过甩干筒并通过连接件能拆装地固定于旋转架上，连接件包括连接盘，连接盘的端面的中心处设置有上定位凸台，连接盘的底面的中心处设置有下定位凸台，转轴的顶部端面的中心处开设有定位孔，连接盘的中心处设置有连接孔，定位孔的底部开设有螺纹孔，连接盘固定于旋转架上，上定位凸台位于安装孔内，下定位凸台位于定位孔内，连接螺栓穿过连接孔并锁紧于螺纹孔内将连接件与转轴固定。上述转轴安装结构不仅设计巧妙，易于

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218568784 U (45)授权公告日 2023.03.03 (21)申请号 202222394944.4 (22)申请日 2022.09.06 (73)专利权人泉芯半导体科技（无锡）有限公司地