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- 2023-03-07 发布于四川
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本实用新型公开了一种具有绝缘功能的靶材垫块，涉及靶材垫块领域，针对现有的靶材在进行加工的过程中对稳定性要求较高，普通的垫块不具备固定功能，且不具备绝缘效果，对靶材溅射成膜具有影响，同时存在安全隐患的问题，现提出如下方案，其包括工作台，所述工作台内部设置有滑杆，所述滑杆的表面安装有强力弹簧，所述工作台内部设置有分隔板，所述强力弹簧的一端安装在工作台内部表面。本实用新型结构新颖，且垫块配备有第一限位块和第二限位块对靶材进行固定，同时采用强力弹簧等机械结构辅助夹紧，减少事故率，垫块采用绝缘材料制成，保
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213266682 U
(45)授权公告日 2021.05.25
(21)申请号 202022141040.1
(22)申请日 2020.09.26
(73)专利权人 深圳市信亿德科技有限公司
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