原创力文档- 34
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- 2023-03-07 发布于四川
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本实用新型涉及一种微波等离子体设备自动控压装置，包括连接在真空泵与微波等离子体设备的真空腔之间的微调阀，还包括与微调阀相连以调节微调阀开合度的动作模块、与动作模块相连以控制动作模块动作的控制模块、与控制模块相连用以输入操作指令的操作模块以及用以将真空腔内气压值反馈至控制模块的反馈模块。采用该装置进行控压自动化程度高、控制精度好并且操作非常方便。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213298979 U
(45)授权公告日 2021.05.28
(21)申请号 202021508488.6
(22)申请日 2020.07.27
(73)专利权人 宁波晶钻工业科技有限公司
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