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一种MEMS传感器及智能电子终端.pdfVIP

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  • 2023-03-07 发布于四川
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一种MEMS传感器及智能电子终端.pdf

    本实用新型公开了一种MEMS传感器及智能电子终端，包括：基板和盖板，基板包括用于承载MEMS芯片的第一面、以及与第一面相对设置的第二面，基板上设置有自第二面向第一面的方向凹陷的槽体，槽体内安装有防水膜，在基板的第一面上开设有微孔结构，防水膜被配置为与微孔结构对应设置并且覆盖微孔结构。本实用新型的MEMS传感器在保证防水性能的基础上利于产品的薄型化，使得基板的加工更为简单，利于批量化生产。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213305752 U (45)授权公告日 2021.05.28 (21)申请号 202021749906.0 (22)申请日 2020.08.20 (73)专利权人 潍坊歌尔微电子有限公司

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