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一种带有负压装置的钙钛矿薄膜涂布设备.pdfVIP

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  • 2023-03-07 发布于四川
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一种带有负压装置的钙钛矿薄膜涂布设备.pdf

    本实用新型公开一种带有负压装置的钙钛矿薄膜涂布设备，包括：底座；涂布平台，设置于底座上，且与底座滑动连接，涂布平台用于承载涂布基底；模头装置，包括：模头架以及设置于模头架上的模头，在模头内部设有溶液通道，模头底部的溶液通道出液口处设有模唇，模头能够上下升降；供液装置，与溶液通道的入液口连接，为模头提供溶液；负压装置，包括：负压盒，负压盒通过抽真空管路与真空泵连接，负压盒设置于涂布平台上，且与涂布平台滑动连接。本实用新型在模头和涂布基底之间增加了负压，一方面可以有效减小涂布区域的气压，另一方面给液

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213255465 U (45)授权公告日 2021.05.25 (21)申请号 202022047768.8 B05C 11/02 (2006.01) (22)申请日 2

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