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HVPE密封式自动镓源注入系统.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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HVPE密封式自动镓源注入系统.pdf

    本实用新型公开了HVPE密封式自动镓源注入系统，它包括：镓舟（1）；附属镓舟（2），所述附属镓舟位于镓舟上方并通过管道与镓舟连通；控制阀（3），所述控制阀安装于附属镓舟与镓舟之间的管道上；电子天平（4）；所述电子天平安装在附属镓舟上；PLC（5），所述PLC与控制阀和电子天平信号连接；电脑（6），所述电脑与PLC信号连接。本实用新型的有益效果是利用电脑控制整个系统，实现自动化的控制，而且精确度和可靠性较高，同时也可以减少对HVPE反应腔的污染，更好地保证镓舟内镓源的品质同时提高了产品的良率，减小

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213327928 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202021897628.3 (22)申请日 2020.09.03 (73)专利权人 镓特半导体科技（铜陵）有限公司

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