一种丝杠式硅片校正装置.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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本实用新型公开了一种丝杠式硅片校正装置,包括输送机构,所述输送机构上设置有校正机构,所述校正机构包括转轴,所述转轴两端面上设置有螺纹,所述转轴两端面通过螺纹均设置有移动座,所述转轴上设置有同步轮,所述同步轮传动连接有伺服电机,所述移动座顶面均设置有校正轮,所述移动座底面设置有滑块,所述滑块滑动连接有轨道,所述轨道设置在输送机构上。本实用新型结构合理、简单,操作便捷,通过伺服电机驱动转轴,使得转轴上的移动座能够带动校正轮同时向硅片的两侧进行压合校正,大大的提高了硅片校正的准确性,从而使得硅片居中对

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213325420 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202021189806.7 (22)申请日 2020.06.23 (73)专利权人 无锡市江松科技有限公司

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