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单晶硅检测样片择优腐蚀装置.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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单晶硅检测样片择优腐蚀装置.pdf

    一种单晶硅检测样片择优腐蚀装置，包括腐蚀槽、腐蚀花篮、定位部件、盖板，腐蚀槽内壁的上部位置设有支撑台，腐蚀花篮设在腐蚀槽的内部，腐蚀花篮的两个短边搭接在支撑台上，腐蚀花篮的下端与腐蚀槽的底部相接触，腐蚀花篮长边的一侧侧壁与腐蚀槽的内壁不接触，腐蚀花篮的外壁与腐蚀槽之间留有间距，腐蚀花篮其余侧壁与腐蚀槽的内壁相接触，定位部件位于腐蚀花篮外壁与腐蚀槽内壁之间的间距之间，定位部件的两侧分别与腐蚀花篮的外壁及腐蚀槽的内壁卡接，将腐蚀花篮固定在腐蚀槽内，盖板设置在腐蚀槽的顶部；本实用新型配合腐蚀花篮设计专

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213337262 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202022192342.1 (22)申请日 2020.09.29 (73)专利权人 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公

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