原创力文档- 1
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- 2023-03-08 发布于四川
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本实用新型公开了HVPE排气、镓分离收集装置,它包括：反应腔（1）；分流装置（2），所述分流装置通过腔体排气管与反应腔连通；法兰（3），所述法兰与分流装置连通；第一阀门（4），所述第一阀门与分流装置连通；镓容器（5），所述镓容器与第一阀门连通；第二阀门（6），所述第二阀门与镓容器连通；排气管路（7），所述排气管路分别与第二阀门和法兰连通。本实用新型的有益效果是金属镓会通过分流装置流到镓容器内，不会流入排气管中，镓容器内流入一定量金属镓时，关闭第一阀门和第二阀门，更换镓容器即可，这样整个过程不用更
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213327938 U
(45)授权公告日 2021.06.01
(21)申请号 202022168549.5
(22)申请日 2020.09.28
(73)专利权人 镓特半导体科技（铜陵）有限公司
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