深入剖析SAW,BAW,FBAR滤波器.pdfVIP

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2023-03-15 发布于天津
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深入剖析 SAW, BAW, FBAR 滤波器很多通信系统发展到某种程度都会有小型化的趋势。一方面小型化可以让系统更加轻便和有效，另一方面，日益发展的 IC 制造技术可以用更低的成本生产出大批量的小型产品。 MEMS(MicroElectromechanical System)是这种小型产品的相关技术之一。MEMS 可以检测环境的变化并通过微型电路产生相关反应。MEMS 的主要部分包括 sensor(微传感器)或 actuator(微执行器)和 transducer(转换装置)，其中 sensor 可以检测某种物理，化学或生物的存在或强度，比如温度，