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单晶硅检测样片专用石英舟.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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单晶硅检测样片专用石英舟.pdf

    一种单晶硅检测样片专用石英舟，包括第一连接板、第二连接板、检测样片支撑杆、防变形固定件，第一连接板、第二连接板对向设置，检测样片支撑杆设置在第一连接板、第二连接板之间，检测样片支撑杆的两个端部分别与第一连接板、第二连接板相连接，检测样片支撑杆上设置有卡槽，检测样片支撑杆呈U形结构排列，防变形固定件设置在检测样片支撑杆的下方；本实用新型对石英舟结构进行优化设计，能够将检测样片竖直放置，防止检测样片向两侧偏倒，避免应力集中对处理效果造成影响，防变形固定件对检测样片支撑杆具有固定约束作用，在检测样片支

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213327941 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202022248141.9 (22)申请日 2020.10.10 (73)专利权人 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公

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