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一种半导体设备研磨头装载体清洗装置.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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一种半导体设备研磨头装载体清洗装置.pdf

    本实用新型公开了一种半导体设备研磨头装载体清洗装置，具体涉及半导体设备清洗技术领域，包括固定架，所述固定架的底部设置有废液箱，且固定架的外侧安装有水箱，所述固定架的顶端连接有固定壳，所述固定壳的前端安装有门板，所述门板的内部设置有观察窗，所述固定壳的内部安装有清洗机构；所述清洗机构包括安装在固定壳顶部的伺服电机，所述伺服电机的底端连接有转动轴，所述转动轴的底端固定连接有转动座。本实用新型在使用时，实现可持续的对多个研磨头装载体进行分批清洗，提高了清洗效率，节省了人力，且方便对清洗箱的内部实现智能

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213316568 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202022185339.7 (22)申请日 2020.09.29 (73)专利权人 江苏凯威特斯半导体科技有限公

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