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- 2023-03-08 发布于四川
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本实用新型涉及一种蚀刻清洗装置，其包括依次连通的蚀刻区、减速清洗区、转弯清洗区和缓冲清洗区；蚀刻区和减速清洗区沿第一方向连通，缓冲清洗区沿第二方向设置；蚀刻区、减速清洗区、转弯清洗区和缓冲清洗区的腔内底部均设置有滚轮，蚀刻区、减速清洗区、转弯清洗区和缓冲清洗区的腔内顶部均设置有喷头；蚀刻区和减速清洗区内的滚轮沿第一方向滚动，缓冲清洗区内的滚轮沿第二方向滚动，转弯清洗区内的滚轮沿第三方向滚动；减速清洗区与转弯清洗区上的滚轮具有第一转动速度，缓冲清洗区上的滚轮具有第二转动速度；第二转动速度大于第一转
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213340298 U
(45)授权公告日 2021.06.01
(21)申请号 202022477899.X
(22)申请日 2020.10.29
(73)专利权人 重庆康佳光电技术研究院有限公
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