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一种真空蒸发镀膜用余热利用装置.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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一种真空蒸发镀膜用余热利用装置.pdf

    本实用新型公开了一种真空蒸发镀膜用余热利用装置，包括自吸泵、铜管、基座、导热管和出水管，所述基座上表面一侧通过两个支撑架固定连接有镀膜仓本体，所述镀膜仓本体下方的基座上表面固定连接有蒸发器本体，所述蒸发器本体顶端固定连接在镀膜仓本体下表面，所述蒸发器本体内部嵌入安装有坩埚，所述坩埚顶端嵌入安装在镀膜仓本体下表面，所述蒸发器本体两侧上方均开孔，所述导热管两端分别嵌入安装在蒸发器本体两侧上方的开孔内，所述导热管呈螺旋状分布在基座内部，所述基座内部的导热管缠绕在铜管外壁，所述基座另一侧通过底座与自吸泵

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213327807 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202022042671.8 (22)申请日 2020.09.17 (73)专利权人 山东沐东真空科技有限公司

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